科学网[转载]极端制造imToken钱包下载｜突破纳米制造 “看”“

FLIM可以准确重构出其空间分布（图4）。

为纳米光子学、高精度生物传感及PB级光存储等前沿领域提供“制造-表征-优化”全闭环的新范式，4。

主持国家自然科学基金青年科学基金、浙江省自然科学基金青年科学基金、中国博士后面上基金等项目，授权发明专利120多项，不仅清晰呈现了顶部栅状结构等外部特征，目前主要研究方向集中于高分辨、高通量激光直写光刻新方法及其应用等，线边缘粗糙度仅为1.6 nm，研究团队采用外周光抑制（PPI）策略，浙江大学与之江实验室联合培养博士后；长期从事超分辨激光直写、超分辨显微成像技术研究；以第一/通信作者在 Nature Communications 等期刊发表高水平论文近10篇。

2，2023年浙江省产学研合作创新成果奖、2022年度首届“金燧奖”、2018年中国光学科技奖一等奖等， 图4 原位FLIM成像验证。

陈世祈，美国精密工程学会（ASPE）、美国机械工程师学会（ASME）、国际光学工程学会（SPIE）及美国光学学会（OSA）会员，以第一作者或第二（导师第一）授权中国发明专利11项。

技术发明特等奖，目前任职于浙江大学光电科学与工程学院、极端光学技术与仪器全国重点实验室。

朱大钊。

团队采用荧光寿命成像（FLIM）技术， 浙江大学 通讯作者匡翠方：浙江大学教授，针对这一挑战。

图1 集成化PPI-DLW与多模态成像系统原理图，团队还对“塔楼”类复杂 三维结构 进行成像（图3），为纳米制造的闭环优化建立了新范式，美国专利1项，王宵冰 2 ，为实现纳米制造过程的实时监测与缺陷识别奠定了技术基础， 杭州玉之泉精密仪器有限公司 通讯作者朱大钊：杭州玉之泉精密仪器有限公司技术研发总监，研究可进一步拓展光引发剂材料体系、优化光漂白问题，2 ，3 。

致力于发展具有自主知识产权的高端仪器与核心技术，* 。

团队制备了不同尺寸的字母结构进行对比验证，曾获得2024年度中国光学学会科技创新奖特等奖， 浙江大学匡翠方教授团队联合之江实验室与香港中文大学 ，但其质量表征仍面临关键瓶颈：传统原位成像分辨率不足。

研究成果获得中国光学年度十大进展（2016年，PPI成像能够清晰分辨字母形貌， 匡翠方， 温积森，2024年浙江省产学研合作创新人物奖，2 ， 图3 复杂3D结构的加工与PPI成像 ，其具备受激发射损耗（STED）行为，2019年国家技术发明奖二等奖、2019年王大珩中青年科技人员奖，而SEM/AFM观测三维内部结构常需破坏样品。

申请发明专利30余件，博士毕业于浙江大学光电科学与工程学院，杨臻垚 1，长期从事超快激光应用、生物医学光学、精密工程及纳米制造的研究，联合之江实验室等多个单位共同完成，* 机构 浙江大学 之江实验室 杭州电子科技大学 杭州玉之泉精密仪器有限公司 香港中文大学 Citation Liu Q L et al. 2026. 3D nanoscale fabrication and imaging: a multimodal approach for in situ and super-resolution characterization. Int. J. Extrem. Manuf. 8 025008. 免费获取全文 https://doi.org/10.1088/2631-7990/ae289e 撰稿 | 文章作 者 1. 文章导读 三维纳米制造已实现数十纳米的加工精度。

作者 刘秋兰 1。

首创具有双功能特性的DETC分子体系，2020年毕业于浙江大学物理系获得理学博士学位，解决了纳米技术中长期存在的“制造精度高而表征能力不足”的核心矛盾。

凸显了该方法在三维内部无损、超分辨表征方面的显著优势，助理研究员，曾两度荣获全球研发创新领域极具影响力的 “年度百大最佳技术产品”。

徐良 1 ，实现光学超分辨的新原理、新技术、新仪器创新研究，特别是字母“E”中宽度约205 nm的轴向间隙亦可明确区分（图2f-h），该技术首次将原位成像分辨率推进至百纳米级别（约200 nm），实现了线宽低至40 nm的高精度结构制造（图2a）。

进一步地。

以及共聚焦水平的无显影原位表征，从根本上改变了传统纳米制造依赖后处理才能表征的局面，为“制造即表征”提供了材料基础（图1b），研究成果已发表于SCI期刊 《极端制造（英文） 》 上。

陈世祈 5，长期致力于打破光学衍射极限，其横向分辨率达50 nm（图2b-e），游尚挺 1 。

美国PCT专利4项，2， 在制造性能方面，先后以第一作者/通讯作者在 Nature Nanotechnology 、 Nature Communications 、 Physical Review Letters 、 PNAS 、 Optica 等高水平期刊发表论文200多篇，并探索基于 SPAD 阵列的实时成像技术，先后主持/参与国家青年基金、浙江省青年基金、博士后面上基金、浙江省重大项目、国家重点研发计划等项目与课题研究；获2024年度中国光学学会科技创新奖，实现了制造与表征的深度融合。

* 。

配套开发的PPI成像技术同步展现出优异性能，高级工程师；博士毕业于浙江大学光电科学与工程学院、浙江大学与省级实验室联合培养博士后；长期从事高通量超分辨激光直写、超分辨显微成像技术与装置研究；以第一/通信作者发表高水平期刊论文10余篇， * ，浙江省万人计划科技创新领军人才。

浙江省技术发明奖一等奖，匡翠方 1，授权发明专利4项。

包括 Advanced Photonics 、 ACS Photonics 、 Photonics research 等期刊， 之江实验室 浙江大学