法拉第杯扫描结果能准确地反应去除函数的分布状态，其中空间波长范围在1 mm至10 mm之间的面形误差修整，针对半高宽为0.5 mm至1 mm的去除函数，进而计算获得。
须保留本网站注明的“来源”，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造全国重点实验室张学军院士研究团队。
（来源：先进制造微信公众号） 相关论文信息： https://doi.org/10.37188/lam.2025.050
基于卷积效应修正的离imToken子束加工去除函数在线测
作者：imToken官网发布时间：2025-11-19 13:13