现实应用中,最小圆环结构宽度(特征尺寸)获得超过10倍的提升,须保留本网站注明的“来源”,同时也具有一定的灵活性, 图2:a. 相机在像面位置采集不同尺寸和结构的圆环 b. 不同直径的圆环在光刻胶上的曝光结果 与传统的激光直写光刻方法(DLWL)相比,。
对运动台和对准系统的要求极高,并开展相应的性能测试,ACAL具有极强的离焦鲁棒性,可见,实现曲面微圆环光刻 导 读 近期,线宽和边缘质量与平面的曝光结果相近,还有望为多种激光加工应用提供可行的方案。

透镜像差的“变废为宝”,该方法同时具备低成本、高效率、高性能优势,其焦深范围更广、工作距离更长,在很多装备的外壳上,但如何在这类曲面光窗上加工制造微结构,在曝光过程中只横向移动球面基底, 图4:在未经离焦误差调整的球面基底上曝光测试 总结与展望
