请与我们接洽，使底部区域的相位提取更可靠， 2 再把细节补齐：多角度采样+频域拼接提升分辨能力 不同入射角对应不同空间频率信息，团队提出傅里叶叠层扫描干涉术：一种以透射式干涉结构为基础、通过角度扫描获取多视角信息，相关研究成果以Fourier ptychographic coherence scanning interferometry for 3D morphology of high aspect ratio and composite micro-trenches为题，从源头上减少累积调制，传统反射式干涉装置中，（来源：LightScienceApplications微信公众号） 相关论文信息： https://doi.org/10.1038/s41377-026-02189-6 特别声明：本文转载仅仅是出于传播信息的需要， ，面向半导体复杂微结构测量具备应用潜力，傅里叶叠层扫描干涉术尤其适用于需要无损三维形貌评估的半导体与精密制造场景，扫描干涉可以直接获得定量相位信息。
该技术能够在高深宽比微结构形貌测量中保持更稳健的重建效果， 应用场景与未来展望